Lensên F-Theta bi gelemperî di sîstemên gravurkirin, birîn û nîşankirina bi lazerê de bi neynikên şopandina galvanometreyê re têne bikar anîn. Bi gelemperî, xirabûna F-Theta ya lensê ji %1 kêmtir tê girtin da ku ew bikaribe xalek rast di qada dûz a li ser rûbera wêneyê de çêbike.
Toleransa Qûtrayê: +0/-0.13mm
Toleransa stûriyê: ±0.25mm
Toleransa Dirêjahiya Fokusê: ±2%
Guhertina Stûriya Qiraxê (ETV): ≤3 arc min.
Vebûna Zelal: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
Kalîteya Rûyê: 40-20 SD
Pêçandina AR: R <0.2% ji bo her rûberê @10.6μ